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Optische UHV-Systeme sind für Vakuum bis zu 10-11 TORR verwendbar. Das RGH25F Mess-System wird mit dem Maßband RGS20-S sowohl zu Weg- als auch zu Teilrotationsmessungen eingesetzt. Der UHV-Abtastkopf RGH20F liefert hingegen in Verbindung mit dem Winkelmess-System RESR hochpräzise Winkelpositions-Rückmeldungen. Die UHV Baureihe wurde für den Einsatz in UHV-Umgebung entwickelt, für Wafer dicing, wissenschaftliche Instrumente, Spektroskopie, Vakuumtestgeräte etc...http://www.renishaw.de/uhv RGH25F UHV vakuumtaugliches, lineares Wegmess-System
RGH25F UHV vakuumtaugliches, lineares Wegmess-System Seiteninhalt Downloads Setzen Sie sich mit Ihrer Niederlassung in Verbindung Online-Kontakt Der RGH25F UHV Abtastkopf für Wegmess-Systeme ist mit dem RGS20-S Maßband von Renishaw kompatibel und bietet ein hochgenaues und direktes Positionsfeedback in UHV-Umgebungen. Der RGH25F UHV hat sich... [16 kB]
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