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RGH25F UHV vakuumtaugliches, lineares Wegmess-System RGH25F UHV vakuumtaugliches, lineares Wegmess-System Seiteninhalt Downloads Setzen Sie sich mit Ihrer Niederlassung in Verbindung Online-Kontakt Der RGH25F UHV Abtastkopf für Wegmess-Systeme ist mit dem RGS20-S Maßband von Renishaw kompatibel und bietet ein hochgenaues und direktes Positionsfeedback in UHV-Umgebungen. Der RGH25F UHV hat sich... [16 kB] RGH25F Wegmess-System Der offene, berührungslose, ultra-kompakte RGH25F Abtastkopf wird mit Renishaws flexiblem RGS20-S Maßband mit 20 µm Teilungsperiode verwendet und bietet Auflösungen bis 10 nm. Der RGH25F besitzt einen kleinen Querschnitt und bietet eine Vielzahl externer Interpolationseinheiten und damit auch automatische Amplitudenkontrolle, Phasenverschiebungskontrolle und Diagnose-Möglichkeiten... [20 kB] UHV-kompatible, optische Mess-Systeme Optische UHV-Systeme sind für Vakuum bis zu 10-11 TORR verwendbar. Das RGH25F Mess-System wird mit dem Maßband RGS20-S sowohl zu Weg- als auch zu Teilrotationsmessungen eingesetzt. Der UHV-Abtastkopf RGH20F liefert hingegen in Verbindung mit dem Winkelmess-System RESR hochpräzise Winkelpositions-Rückmeldungen. Die UHV Baureihe wurde für den Einsatz in UHV-Umgebung entwickelt, für Wafer dicing, wissenschaftliche Instrumente, Spektroskopie, Vakuumtestgeräte etc... [19 kB] RESR Winkelmess-System Renishaws RESR Winkelmess-Systeme bieten beeindruckende Leistungen.Mit einer Teilungsgenauigkeit bis ±0,5 Winkelsekunden und einer Auflösung bis 0,004 Winkelsekunden eignet sich das RESR-System selbst für die anspruchsvollsten Präzisionsanwendungen. [25 kB] Vergleichstabelle für optische Mess-Systeme Bitte betrachten Sie die untenstehende Übersichtstabelle um Renishaws Vielzahl an optischen Weg- und Winkelmess-Systemen zu vergleichen. Weitere Informationen und Produktvariationen erhalten Sie mit Hilfe des Produkt-Konfigurators. [24 kB]
Datenblatt: RGH25F Wegmess-System Das RGH25F System bietet alle Vorteile der RG2 Baureihe: berührungslos, patentierte Filter-Optik, verschmutzungstolerant und hohe Geschwindigkeit. [311 kB] Broschüre: Berührungslose Mess-Systeme Effektiv - Einfache Justage mit intelligenter Software. Innovativ - Verschmutzungstolerante Filteroptiken. Produktiv - Auflösungen von 10 μm bis 10 nm. [1.80 MB]
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