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UHV-kompatible, optische Mess-Systeme

Optische UHV-Systeme sind für Vakuum bis zu 10-11 TORR verwendbar. Das RGH25F Mess-System wird mit dem Maßband RGS20-S sowohl zu Weg- als auch zu Teilrotationsmessungen eingesetzt. Der UHV-Abtastkopf RGH20F liefert hingegen in Verbindung mit dem Winkelmess-System RESR hochpräzise Winkelpositions-Rückmeldungen. Die UHV Baureihe wurde für den Einsatz in UHV-Umgebung entwickelt, für Wafer dicing, wissenschaftliche Instrumente, Spektroskopie, Vakuumtestgeräte etc...
http://www.renishaw.de/uhv
  • TONiC™ UHV vakuumtaugliches Winkelmess-System
    TONiC™ UHV vakuumtaugliches Winkelmess-System Seiteninhalt Downloads Setzen Sie sich mit Ihrer Niederlassung in Verbindung Online-Kontakt Der TONiC UHV Abtastkopf für Winkelmess-Systeme ist mit Renishaws präzise graduierten rotativen Maßbändern mit optischen IN-TRAC ™ Referenzmarken, einschließlich der hochgenauen RESM und REXM-Ringe,...
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    RGH20F UHV vakuumtaugliches Winkelmess-System Seiteninhalt Downloads Setzen Sie sich mit Ihrer Niederlassung in Verbindung Online-Kontakt Der RGH20F UHV Abtastkopf für Winkelmess-Systeme ist mit RESR-Ringen kompatibel und bietet ein hochgenaues und direktes Positionsfeedback in UHV-Umgebungen. Der RGH20F UHV hat sich seit Jahren in der Praxis...
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