アプリケーションノート: RLE10の計測安定性に及ぼす空気の乱れの影響 (pdf)

File size: 342 kB Language: 日本語 Part number: L-9904-2415

アプリケーションノート: RLE10の計測安定性に及ぼす空気の乱れの影響

干渉計システムは高精度モーションアプリケーションに広く使用されていますが、その理由としては、「光の波長」を基準として得られる高分解能を使用できることや、ワーク表面と同じ高さで直接計測を行い、アッベ誤差を排除できることなど、様々なものがあります。

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