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ケーススタディ: 高度なエアベアリングとエンコーダを搭載した超高精度レンズ計測システム (doc)

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ABTech Manufacturing が、同社の超高精度エアベアリングとレニショーの SiGNUM™ 位置決め用エンコーダを活用してナノメータ/サブ角度秒処理を行う 5 軸プラットフォームを製作

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