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차동 간섭계
Renishaw의 RLD10 차동 간섭계 검출기 헤드는 진정한 차동 측정을 위해 스테이지 대비 컬럼 또는 공작물 대비 공구를 측정합니다. [11 kB] 레이저 엔코더
선형(반사경) 시스템, 레이저 인코더, X-Y(평면 미러) 시스템 및 차동 간섭계를 포함한 Renishaw의 간섭계 인코더는 선형 위치 피드백에서 최고의 정확도를 제공합니다. [11 kB] RLE 시스템 개요
Renishaw RLE 레이저 간섭계 기반 위치 피드백 시스템과 HS10 장거리 레이저 스케일 소개 및 개요 [15 kB]
뉴스 릴리스: RLE20 간섭계는 Vistec Lithography의 최신e-beam 툴의 성능을 개선해줍니다
Vistec Lithography(이전 Leica Microsystems)의VB300 e-beam 리소그라피 툴은 1993년에 도입되어 큰 성공을 거둔 VB6 시리즈를 발전시킨 제품입니다. 새로운 툴을 설계함에 있어, Vistec은소음을 일으키는 위치 오차를 줄이면 툴 성능이 크게 개선된다는 점을 발견했습니다. 향상된 기계적 강도와 Renishaw RLE20 차동 간섭계 기반 엔코더 시스템의 통합을 통해 이러한오차가 이제 3 nm 미만으로 감소할 것으로 예상됩니다. [626 kB]
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