案例分析:RLE20激光尺增强了Raith公司最新电子束光刻机的性能 (pdf)

File size: 563 kB Language: 中文(简体) Part number: H-5225-9068

案例分析:RLE20激光尺增强了Raith公司最新电子束光刻机的性能

Raith公司(之前称为Vistec Lithography and Leica Microsystems公司)的VB300电子束光刻机是在其VB6系列的基础上研制开发的,后者于1993年上市后曾大获成功。在设计新的机器时,Raith发现,如果能够减少由噪音引起的定位误差,光刻机的性能将显著提升。通过提高设备的机械刚性,同时集成基于雷尼绍RLE20差分干涉仪的激光尺系统,这些误差现在可低至 <3 nm。

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