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新闻文章 - RSLM - 适用于平板应用的新型高精度光栅 (doc)

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Renishaw公司的SiGNUM™ RSLM光栅系统具有±30 nm的细分误差，配有专利光学滤波系统，分辨率为5 nm，安装简单，它还使20 μm栅距光栅的性能具备了小栅距光栅系统的所有优点。

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