Aplicación: VAD Instrument ha elegido los encóderes ópticos UHV de Renishaw para sus plataformas de movimiento (pdf)

File size: 906 kB Language: Español Part number: H-5650-0014

Aplicación:  VAD Instrument ha elegido los encóderes ópticos UHV de Renishaw para sus plataformas de movimiento

La tecnología de vacío se emplea en muchos procesos de fabricación de alta precisión. Las aplicaciones más habituales son la inspección y unión de obleas semiconductoras, fotolitografía y deposición de películas delgadas.

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