RMAP-3A マルチアクシスペリスコープ (mp4)

File size: 96.84 MB Language: 日本語 Dimensions: 1920 x 1080 px

XY ステージの 6 自由度を、複数の干渉計から照射されるビームの照射面積を最小限に抑えて測定するよう設計されています。マルチアクシスペリスコープは、RLD10-X3-DI 干渉計ヘッドと組み合わせて、ピッチ、ヨーおよび直線上の位置を測定します。

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