적용 사례: 레이저 간섭계로 리니어 스케일 캘리브레이션 오차 검증 (pdf)

File size: 1.08 MB Language: 한국어 Part number: H-5650-5013

적용 사례:  레이저 간섭계로 리니어 스케일 캘리브레이션 오차 검증

일관된 서브미크론 측정 정확도를 달성하기 위해 홍콩의 SCL(Standards and Calibration Laboratory)이 개발한 자동 라인 스케일 캘리브레이션 시스템은 자동 오차 보정을 핵심적인 설계 기준으로 삼았습니다. 이 기관에서는 아베 오차의 모든 원인과 환경 조건의 변화를 성공적으로 관리하기 위해 Renishaw XL-80 레이저 간섭계와 XC-80 보정기를 사용했습니다.

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