個案研究: XL-80 鐳射干涉儀為線紋尺量測系統 提供精準可靠的位置補償 (docx)

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個案研究: XL-80 鐳射干涉儀為線紋尺量測系統 提供精準可靠的位置補償

線紋尺( Line scale )一般是由玻璃基材製成並且在其表面準確地刻有等間距平行線,通常配置於比長儀、顯微鏡、測量儀器等長度測量設備上,作為測量距離和行程準確性的重要參考基準。測量線紋尺上的刻度距離意味著需要精度更高的儀器,測量解析度往往要求達到奈米級,微小的環境因素所造成的誤差都會影響測量結果的準確性。附屬於香港創新科技局的標準及校正實驗所( SCL )設計並建立了一台全新的線紋尺量測系統,採用Renishaw XL-80 鐳射干涉儀,補償測量過程中因測量機台架設的位置偏移所導致的誤差。

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